标王 热搜:
 
当前位置: 首页 » 技术文章 » 其它 » 正文

徕卡课堂丨共焦与干涉的不期而遇

放大字体  缩小字体 发布日期:2018-07-27  浏览次数:705
核心提示:精准的表面分析是在众多生产和研发过程中不可或缺的因素,以此来确保材料和组件的性能优化。在日益复杂的半导体加工行业中,对器

QQ截图20170824152407
 

 

精准的表面分析是在众多生产和研发过程中不可或缺的因素,以此来确保材料和组件的性能优化。在日益复杂的半导体加工行业中,对器件的结构检测要求也越来越高;在汽车和航空航天行业,组件的表面粗糙度是决定组件性能至关重要的因素。
 

然而,样品表面错综复杂的结构,不同的高倾斜度,会要求横向分辨率达到亚微米,垂直方向分辨率甚至达到纳米级。如何获取高质量的二维图像,执行复杂的三维表面分析,得出精准的分析结果? 

 

QQ截图20170824152525
 

测量光栅的周期,高度 放大倍数:1000x  
 

QQ截图20170824152615
光栅周期曲线图

(样品及测试环境:北京大学微电子工艺实验室)


QQ截图20170824152655


硅结构器件 硅墙 放大倍数:2100x


QQ截图20170824152728


用不同颜色展现样品表面的高低形貌

样品及测试环境:北京大学微电子工艺实验室) 


QQ截图20170824152816

半导体结构器件表面损伤观察 放大倍数2100x
 

QQ截图20170824152844

用不同颜色展现样品表面的高低形貌

样品及测试环境:中国科学院半导体研究所)

QQ截图20170824152917


观察光栅 放大倍数:2100x

 

QQ截图20170824152947

用不同颜色展现样品表面的高低形貌

样品及测试环境:中国科学院半导体研究所)

QQ截图20170824153009


硅片表面结构3D图像 放大倍数2100x


QQ截图20170824153033


用不同颜色展现样品表面的高低形貌
 

QQ截图20170824153104

金属材料3D形貌,奥氏体 放大倍数:1000x
 

QQ截图20170824153132

真彩共聚焦模式下拍摄的奥氏体
 

感谢北京大学微电子工艺实验室与中国科学院半导体研究所提供的检测样品及测试环境。

希望立足于此,将来为中国科学研究及精密测量领域提供更优质的设备与服务。

 来源:徕卡显微系统

 

QQ截图20170824153323
 


 
 
[ 技术文章搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告诉好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 关闭窗口 ]

 
0条 [查看全部]  相关评论

 
按分类浏览

Notice: Undefined variable: maincat in /data/home/qxu1650200186/htdocs/file/cache/tpl/article-show.php on line 90
商家商品展示
推荐技术文章
点击排行
按分类浏览

Notice: Undefined variable: maincat in /data/home/qxu1650200186/htdocs/file/cache/tpl/article-show.php on line 125

 
网站首页 | 关于我们 | 联系方式 | 使用协议 | 版权隐私 | 网站地图 | 排名推广 | 广告服务 | 积分换礼 | 网站留言 | RSS订阅 | 京ICP备 12009517号-5
Processed in 0.050 second(s), 14 queries, Memory 1.81 M