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NPGS V9.1纳米图形发生系统(电子束曝光机)

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品牌: NPGS V9.1纳米图形发生系统(电子束曝光机)
单价: 面议
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发货期限: 自买家付款之日起 天内发货
所在地: 江苏 南京市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2016-01-06 11:43
浏览次数: 540
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公司基本资料信息
 
 
产品详细说明
   NPGS V9.1纳米图形发生系统,又称科研级电子束曝光机、电子束微影光刻系统。NPGS为基于扫描电镜SEM、扫描透射电镜STEM或聚焦离子束FIB研发的 EBL系统。通过外加的电脑软件/硬件界面控制电镜中电子束的矢量扫描,以直接刻写纳米尺寸图形。它和当今主流的SEM或FIB等均可配套,具有功能强 大、操作简便、使用灵活、性价比高、不影响SEM本身观测功能等特点,是研究半导体和光电子技术、MEMS微器件及微 纳结构制作的重要工具;在全球拥有众多知名用户,稳居行业领先者地位。
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