仪器特点:
1. 多用途型,测量范围从1mm~160mm
2. 高测量精度,在全测量范围内直线度达±7μm,在窄测量范围内达±(4.0+2ΔD)μm高测量精度。
3. 高重复精度达±1.4μm
技术参数:
1. 测量范围:1~160mm
2. 分辨率:0.0001~0.1mm可选
3. (.000005"~.05")( ):英制/公制型
4. 20ºC时的直线度*:全范围:±7μm窄范围:±(4.0+2.0ΔD)μm
5. 重复精度(±2σ):±1.4μm
6. 测量区域:40×160mm
7. 激光波长:650nm,可见光
8. 扫描速度:3200scans/s
9. 激光扫描速度:603m/s
10. 激光可接收标准:IEC或FDA
11. 备注 * 在测量区域中心
12. ΔD=校正规和工件的直径差