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| 型号 |
VMU222
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VMU322
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VMU432
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VMU542
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行程(mm)*
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200×200×200
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300×200×200
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400×300×200
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500×400×200
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外部尺寸(mm)
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1040×740×1620
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1040×740×1620
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1240×800×1620
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1440×1000×1680
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重量(kg)
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240
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250
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310
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400
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承重(kg)
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25
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25
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25
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25
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测量精度
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XY轴**
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E2=(1.5+L/300)μm
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E2=(1.9+L/300)μm
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Z轴***
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E1=(5.0+L/200)μm
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速度
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XY轴
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200mm/S
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Z轴
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100mm/S
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光栅尺
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0.1μm Renishaw光栅尺
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| 导轨 | THK | ||||
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图像传感器
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高清晰彩色专用工业摄像机
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光源
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轮廓光
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LED冷光源，256级亮度可调
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表面光
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6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调
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同轴光
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LED冷光源，256级亮度可调
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光学镜头
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12.5:1连续变倍
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| 放大倍率**** | 光学放大倍率：0.6～7.5×；影像放大倍率：18～230× | ||||
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软件
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Vispec测量软件（VMU版）
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运动控制
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自主专利的CNC直流伺服系统
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保修期
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1年
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工作环境
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温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80%
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振动<0.002g，低于15Hz
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电源
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220V/50Hz/10A
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* Z轴可加高至300mm（222行程除外）。
** L表示测量长度，以毫米为单位。
*** Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。
**** 放大倍率为近似值，具体指与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关；客户可根据需求选配0.5×或2×附加镜，实现影像放大倍率9～115×或36～460×。
