平面CT

    平面CT是对板状结构内部质量状态与结构信息检测的专用工具，可用PCB板，BGA、集成芯片等板状结构的高分辨成像的质量评定与分析。重构出扫描区三维 断层图像，实现对板状结构检测器件及板状电器器件制造缺陷的空间定位，实现对板状电器部件及元器件电路图的CAD设计。

主要技术参数
●管电压：20kv ~225kv 
●焦点尺寸：1μm~5μm 
●空间分辨力：0.6μm~50μm
●密度分辨率：0.3%~0.5% 
●扫描方式：锥束扫描 
●探测器：数字平板控制器

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